|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 29 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
Studying the efficacy of hydrogen plasma treatment for enabling the etching of thermally annealed ruthenium in chemical solutions |
| Auteur: |
Le, Q.T. Gül Arslan, E. Rip, J. De Coster, H. Verdonck, P. Radisic, D. Schleicher, F. Vaesen, I. Conard, T. Altamirano-Sanchez, E. |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 19 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 29 van 36 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |