|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 4 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization of Ru4-xTax (x = 1,2,3) alloy as material candidate for EUV low-n mask |
| Auteur: |
Wu, Meiyi de Marneffe, Jean-François Opsomer, Karl Detavernier, Christophe Delabie, Annelies Naujok, Philipp Caner, Özge Goodyear, Andy Cooke, Mike Saadeh, Qais Soltwisch, Victor Scholze, Frank Philipsen, Vicky |
| Verschenen in: |
Micro and nano engineering |
| Paginering: | Jaargang 12 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 4 gevonden artikelen
| volgende >> |