Properties of ultrathin molybdenum films for interconnect applications
Titel:
Properties of ultrathin molybdenum films for interconnect applications
Auteur:
Founta, Valeria Soulié, Jean-Philippe Sankaran, Kiroubanand Vanstreels, Kris Opsomer, Karl Morin, Pierre Lagrain, Pieter Franquet, Alexis Vanhaeren, Danielle Conard, Thierry Meersschaut, Johan Detavernier, Christophe Van de Vondel, Joris De Wolf, Ingrid Pourtois, Geoffrey Tőkei, Zsolt Swerts, Johan Adelmann, Christoph