|
Atomic layer deposition mechanism of hafnium dioxide using hafnium precursor with amino ligands and water |
|
|
|
Titel: |
Atomic layer deposition mechanism of hafnium dioxide using hafnium precursor with amino ligands and water |
Auteur: |
Li, Jing Guo, Jiayi Zhou, Zhongchao Xu, Rui Xu, Lina Ding, Yihong Xiao, Hongping Li, Xinhua Li, Aidong Fang, Guoyong |
Verschenen in: |
Surfaces and interfaces |
Paginering: |
Jaargang 44 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|