|
Heteroepitaxial growth of β-Ga2O3 thin films on c-plane sapphire substrates with β-(AlxGa1-x)2O3 intermediate buffer layer by mist-CVD method |
|
|
|
Titel: |
Heteroepitaxial growth of β-Ga2O3 thin films on c-plane sapphire substrates with β-(AlxGa1-x)2O3 intermediate buffer layer by mist-CVD method |
Auteur: |
Cheng, Yaolin Zhang, Chunfu Xu, Yu Li, Zhe Chen, Dazheng Zhu, Weidong Feng, Qian Xu, Shengrui Zhang, Jincheng Hao, Yue |
Verschenen in: |
Materials today communications |
Paginering: |
Jaargang 29 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|