|
Structural, optical, and interface properties of sputtered AlN thin films under different hydrogen dilution conditions |
|
|
|
Titel: |
Structural, optical, and interface properties of sputtered AlN thin films under different hydrogen dilution conditions |
Auteur: |
Montañez, L Töfflinger, J.A. Grieseler, R. Fischer, P. Ben-Or, A. Guerra, J.A. Weingärtner, R. Osten, H.J. Kribus, A. |
Verschenen in: |
Materials today: proceedings |
Paginering: |
Jaargang 5 (2018) nr. 6P3 pagina's 14765-14771 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|