|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 39 van 51 gevonden artikelen
| Titel: |
Redeposition mechanism on silicon oxide layers during selective etching process in 3D NAND manufacture |
| Auteur: |
Zhou, Zihan Wu, Yunwen Ling, Huiqin Guo, Jie Wang, Su Li, Ming |
| Verschenen in: |
Journal of industrial and engineering chemistry |
| Paginering: | Jaargang 119 () nr. C pagina's 218-225 |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Korean Society of Industrial and Engineering Chemistry |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 39 van 51 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |