|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 51 gevonden artikelen
| Titel: |
Fe-substituted silica via lattice dissolution–reprecipitation replacement for tungsten chemical mechanical planarization |
| Auteur: |
Sun, Seho Lee, Kangchun Lee, Ganggyu Kim, Yehwan Kim, Sungmin Hwang, Junha Kong, Hyungoo Chung, Kyung Yoon Ali, Ghulam Song, Taeseup Paik, Ungyu |
| Verschenen in: |
Journal of industrial and engineering chemistry |
| Paginering: | Jaargang 111 () nr. C pagina's 219-225 |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Korean Society of Industrial and Engineering Chemistry |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 51 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |