|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 13 van 29 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of 53.2 nm pitch self-traceable gratings by laser-focused atomic deposition combined with extreme ultraviolet interference lithography |
| Auteur: |
Tang, Zhaohui Zhao, Jun Deng, Xiao Tan, Wen Wu, Yanqing Tai, Renzhong Cheng, Xinbin Li, Tongbao |
| Verschenen in: |
Optik |
| Paginering: | Jaargang 279 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier GmbH |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 13 van 29 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |