|
Assessment of techniques for characterizing the surface quality of ground silicon nitride |
|
|
|
Titel: |
Assessment of techniques for characterizing the surface quality of ground silicon nitride |
Auteur: |
Zanoria, E. S. Watkins, T. R. Breder, K. Riester, L. Bashkansky, M. Reintjes, J. Sun, J. G. Ellingson, W. A. Blau, P. J. |
Verschenen in: |
Journal of materials engineering and performance |
Paginering: |
Jaargang 7 (1998) nr. 4 pagina's 533-547 |
Jaar: |
1998 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|