|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 55 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of Potassium Iodate-Based Slurry for Polishing of Ruthenium (Ru) as Advanced Interconnects |
| Auteur: |
Hazarika, Jenasree Talukdar, Anusuya Rajaraman, Prasanna Venkatesh |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 52 () nr. 10 pagina's 6551-6565 |
| Jaar: |
2023-07-20 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 55 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |