|
Impact of Ni Concentration on the Performance of Ni Silicide/HfO2/TiN Resistive RAM (RRAM) Cells |
|
|
|
Titel: |
Impact of Ni Concentration on the Performance of Ni Silicide/HfO2/TiN Resistive RAM (RRAM) Cells |
Auteur: |
Chen, Z.X. Fang, Z. Wang, Y. Yang, Y. Kamath, A. Wang, X.P. Singh, N. Lo, G.-Q. Kwong, D.-L. Wu, Y.H. |
Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
Paginering: |
Jaargang 43 (2014) nr. 11 pagina's 4193-4198 |
Jaar: |
2014 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, Boston |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|