|
Germanium-Rich SiGe Nanowires Formed Through Oxidation of Patterned SiGe FINs on Insulator |
|
|
|
Titel: |
Germanium-Rich SiGe Nanowires Formed Through Oxidation of Patterned SiGe FINs on Insulator |
Auteur: |
Balakumar, S. Buddharaju, K. D. Tan, B. Rustagi, S. C. Singh, N. Kumar, R. Lo, G. Q. Tripathy, S. Kwong, D. L. |
Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
Paginering: |
Jaargang 38 (2009) nr. 3 pagina's 443-448 |
Jaar: |
2009 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, Boston |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|