|
Design and Characterization of Fabry–Pérot MEMS-Based Short-Wave Infrared Microspectrometers |
|
|
|
Titel: |
Design and Characterization of Fabry–Pérot MEMS-Based Short-Wave Infrared Microspectrometers |
Auteur: |
Keating, A.J. Antoszewski, J. Silva, K.K.M.B.D. Winchester, K.J. Nguyen, T. Dell, J.M. Musca, C.A. Faraone, L. Mitra, P. Beck, J.D. Skokan, M.R. Robinson, J.E. |
Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
Paginering: |
Jaargang 37 (2008) nr. 12 pagina's 1811-1820 |
Jaar: |
2008 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer US, Boston |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|