|
Porous organosilicates low-dielectric films for high-frequency devices |
|
|
|
Titel: |
Porous organosilicates low-dielectric films for high-frequency devices |
Auteur: |
Knoesen, André Song, Ge Volksen, Willi Huang, Elbert Magbitang, Teddie Sundberg, Linda Hedrick, James L. Hawker, Craig J. Miller, Robert D. |
Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
Paginering: |
Jaargang 33 (2004) nr. 2 pagina's 135-140 |
Jaar: |
2004 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|