|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Advanced metrology for rapid characterization of the thermal mechanical properties of low-k dielectric and copper thin films |
| Auteur: |
Lau, S. H. Tolentino, Ellie Lim, Yuen Tolentino, Evangeline Koo, Ann |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 30 (2001) nr. 4 pagina's 299-303 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 31 gevonden artikelen
| volgende >> |