Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 9 van 25 gevonden artikelen
 
 
  Electrical properties of Ru and RuO2 gate electrodes for Si-PMOSFET with ZrO2 and Zr-silicate dielectrics
 
 
Titel: Electrical properties of Ru and RuO2 gate electrodes for Si-PMOSFET with ZrO2 and Zr-silicate dielectrics
Auteur: Zhong, Huicai
Heuss, Greg
Suh, You-Seok
Misra, Veena
Hong, Shin-Nam
Verschenen in: Journal of electronic materials
Paginering: Jaargang 30 (2001) nr. 12 pagina's 1493-1498
Jaar: 2001
Inhoud:
Uitgever: Springer-Verlag, New York
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 9 van 25 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland