|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
New plasma chemistries for etching III–V compound semiconductors: Bl3 and BBr3 |
| Auteur: |
Maeda, Takeshi Cho, Hyun Hong, Jin Pearton, S. J. |
| Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
| Paginering: | Jaargang 28 () nr. 2 pagina's 118-123 |
| Jaar: |
1999-04-03 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |