|
Influence of the oxygen content in SiGe on the parameters of Si/SiGe heterojunction bipolar transistors |
|
|
|
Titel: |
Influence of the oxygen content in SiGe on the parameters of Si/SiGe heterojunction bipolar transistors |
Auteur: |
Knoll, D. Heinemann, B. Bolze, D. Ehwald, K. E. Fischer, G. Krüger, D. Morgenstern, T. Naumann, E. Schley, P. Tillack, B. Wolansky, D. |
Verschenen in: |
Journal of electronic materials |
Paginering: |
Jaargang 27 () nr. 9 pagina's 1022-1026 |
Jaar: |
1998-04-03 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, New York |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|