|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Advanced metrology needs for nanoelectronics lithography |
| Auteur: |
Knight, Stephen Dixson, Ronald Jones, Ronald L. Lin, Eric K. Orji, Ndubuisi G. Silver, R. Villarrubia, John S. Vladár, András E. Wu, Wen-li |
| Verschenen in: |
Comptes rendus physique |
| Paginering: | Jaargang 7 (2006) nr. 8 pagina's 11 p. |
| Jaar: |
2006 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |