|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 52 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of substrate type and temperature on the growth of thin Ru films by metal organic chemical vapor deposition |
| Auteur: |
Chiba, Hirokazu Hirano, Masaki Kawano, Kazuhisa Oshima, Noriaki Funakubo, Hiroshi |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 70 (2017) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 52 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |