|
Zn distribution and location, luminescence measurement after Zn channeled implantation in GaN and RTA annealing |
|
|
|
Titel: |
Zn distribution and location, luminescence measurement after Zn channeled implantation in GaN and RTA annealing |
Auteur: |
Ding, F.-R. Vantomme, A. He, W.-H. Zhao, Q. Pipeleers, B. Jacobs, K. Moerman, I. Iakoubovskii, K. Adriaenssens, G.J. |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 6 (2003) nr. 4 pagina's 3 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|