|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
The effect of variation of the WF6 flow rate on the contact resistance in the DCS-based WSi x deposition |
| Auteur: |
Joung, Yang Hee Kim, Kyoung Won Kang, Seong Jun |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 6 (2003) nr. 4 pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |