|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 73 van 78 gevonden artikelen
| Titel: |
The use of convergent beam electron diffraction for stress measurements in shallow trench isolation structures |
| Auteur: |
Stuer, C Van Landuyt, J Bender, H Rooyackers, R Badenes, G |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 4 (2001) nr. 1-3 pagina's 117-119 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 73 van 78 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |