|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 32 van 54 gevonden artikelen
| Titel: |
Investigation of dual work function metal (DWFM) gate stacks with ALD TaAlN and TaAlC for multi threshold voltages (VTHs) engineering in MOS device integration |
| Auteur: |
Choi, Moonsuk Sim, Jihyeon Kim, Hyeongjun Lim, Hyun Jin Kim, Ki Sub Choi, Changhwan |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 176 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 32 van 54 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |