Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 31 van 54 gevonden artikelen
 
 
  Investigating the physical mechanism of ion-slicing in AlN and hetero-integrating AlN thin film on Si(100) substrate
 
 
Titel: Investigating the physical mechanism of ion-slicing in AlN and hetero-integrating AlN thin film on Si(100) substrate
Auteur: Qin, Qingcheng
Shi, Hangning
Yuan, Ye
Ding, Jiaxin
Yi, Ailun
Xu, Wenhui
Zhou, Min
Zhang, Jian
Lu, Tongxin
Yang, Yi
You, Tiangui
Wang, Xinqiang
Ou, Xin
Verschenen in: Materials science in semiconductor processing
Paginering: Jaargang 176 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2024
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 31 van 54 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland