|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 31 van 43 gevonden artikelen
| Titel: |
Numerical and experimental investigation of the effect of side injectors on the deposition rate near the wafer edge during atmospheric pressure chemical vapor deposition |
| Auteur: |
Le, Ba-Phuoc Lin, Wei-Jie Chen, Jyh-Chen Hu, Chieh Tu, Chun-Chin Chen, Liang-Chin |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 172 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 31 van 43 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |