|
Isolation of bidimensional electron gas in AlGaN/GaN heterojunction using Ar ion implantation |
|
|
|
Titel: |
Isolation of bidimensional electron gas in AlGaN/GaN heterojunction using Ar ion implantation |
Auteur: |
Scandurra, Antonino Testa, Matteo Franzò, Giorgia Greco, Giuseppe Roccaforte, Fabrizio Castagna, Maria Eloisa Calabretta, Cristiano Severino, Andrea Iucolano, Ferdinando Bruno, Elena Mirabella, Salvatore |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 168 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|