|
Germanium surface wet-etch-reconditioning for porous lift-off and substrate reuse |
|
|
|
Titel: |
Germanium surface wet-etch-reconditioning for porous lift-off and substrate reuse |
Auteur: |
Chapotot, Alexandre Ilahi, Bouraoui Arias-Zapata, Javier Hanuš, Tadeáš Ayari, Ahmed Hamon, Gwenaëlle Cho, Jinyoun Dessein, Kristof Darnon, Maxime Boucherif, Abderraouf |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 168 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|