|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 47 gevonden artikelen
| Titel: |
Atomistic understanding of the subsurface damage mechanism of silicon (100) during the secondary nano-scratching processing |
| Auteur: |
Yuan, Song Guo, Xiaoguang Liu, Shengtong Li, Penghui Liu, Fumin Zhang, Lemin Kang, Renke |
| Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
| Paginering: | Jaargang 144 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 47 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |