|
Atomic layer etching technique for InAlN/GaN heterostructure with AlN etch-stop layer |
|
|
|
Titel: |
Atomic layer etching technique for InAlN/GaN heterostructure with AlN etch-stop layer |
Auteur: |
Du, Fangzhou Jiang, Yang Qiao, Zepeng Wu, Zhanxia Tang, Chuying He, Jiaqi Zhou, Guangnan Cheng, Wei-Chih Tang, Xinyi Wang, Qing Yu, Hongyu |
Verschenen in: |
Materials science in semiconductor processing |
Paginering: |
Jaargang 143 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2022 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|