|
High resolution determination of local residual stress gradients in single- and multilayer thin film systems |
|
|
|
Titel: |
High resolution determination of local residual stress gradients in single- and multilayer thin film systems |
Auteur: |
Treml, R. Kozic, D. Zechner, J. Maeder, X. Sartory, B. Gänser, H.-P. Schöngrundner, R. Michler, J. Brunner, R. Kiener, D. |
Verschenen in: |
Acta Materialia |
Paginering: |
Jaargang 103 () nr. C pagina's 616-623 |
Jaar: |
2016 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
The Author(s) |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|