Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 2 van 56 gevonden artikelen
 
 
  Analysis of (Al,Cr,Nb,Ta,Ti)-nitride and -oxynitride diffusion barriers in Cu-Si interconnects by 3D-Secondary Ion Mass Spectrometry
 
 
Titel: Analysis of (Al,Cr,Nb,Ta,Ti)-nitride and -oxynitride diffusion barriers in Cu-Si interconnects by 3D-Secondary Ion Mass Spectrometry
Auteur: Kretschmer, Andreas
Bohrn, Fabian
Hutter, Herbert
Pitthan, Eduardo
Tran, Tuan Thien
Primetzhofer, Daniel
Mayrhofer, Paul Heinz
Verschenen in: Materials characterization
Paginering: Jaargang 197 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2023
Inhoud:
Uitgever: The Authors
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 2 van 56 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland