|
Analysis of (Al,Cr,Nb,Ta,Ti)-nitride and -oxynitride diffusion barriers in Cu-Si interconnects by 3D-Secondary Ion Mass Spectrometry |
|
|
|
Titel: |
Analysis of (Al,Cr,Nb,Ta,Ti)-nitride and -oxynitride diffusion barriers in Cu-Si interconnects by 3D-Secondary Ion Mass Spectrometry |
Auteur: |
Kretschmer, Andreas Bohrn, Fabian Hutter, Herbert Pitthan, Eduardo Tran, Tuan Thien Primetzhofer, Daniel Mayrhofer, Paul Heinz |
Verschenen in: |
Materials characterization |
Paginering: |
Jaargang 197 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
The Authors |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|