|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 56 gevonden artikelen
| Titel: |
Analysis of (Al,Cr,Nb,Ta,Ti)-nitride and -oxynitride diffusion barriers in Cu-Si interconnects by 3D-Secondary Ion Mass Spectrometry |
| Auteur: |
Kretschmer, Andreas Bohrn, Fabian Hutter, Herbert Pitthan, Eduardo Tran, Tuan Thien Primetzhofer, Daniel Mayrhofer, Paul Heinz |
| Verschenen in: |
Materials characterization |
| Paginering: | Jaargang 197 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 56 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |