|
Damage-free sputtering of a transparent conductive oxide using a triode plasma configuration |
|
|
|
Titel: |
Damage-free sputtering of a transparent conductive oxide using a triode plasma configuration |
Auteur: |
An, Jeong-Ho Hong, Ji-Eun Mo, Sung-In Jo, Yimhyun Choi, Sinho Kim, Tae-Hee Oh, Soong Ju Jeong, Kyung Taek Song, Hee-eun Oh, Joon-Ho Kim, Ka-Hyun |
Verschenen in: |
Solar energy materials and solar cells |
Paginering: |
Jaargang 283 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|