|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 45 gevonden artikelen
| Titel: |
Comparative study of the effect of annealing of nitrogen-implanted silicon-on-insulator structures by spectroscopic ellipsometry, cross-sectional transmission electron microscopy and Rutherford backscattering spectroscopy |
| Auteur: |
Lohner, T. Skorupa, W. Fried, M. Vedam, K. Nguyen, N. Grötzschel, R. Bartsch, H. Gyulai, J. |
| Verschenen in: |
Materials science and engineering. B, Solid-state materials for advanced technology |
| Paginering: | Jaargang 12 (1992) nr. 1-2 pagina's 8 p. |
| Jaar: |
1992 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 45 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |