|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 23 van 50 gevonden artikelen
| Titel: |
Fast scatterometric measurement of periodic surface structures in plasma-etching processes |
| Auteur: |
Klesse, Wolfgang Matthias Rathsfeld, Andreas Groß, Claudine Malguth, Enno Skibitzki, Oliver Zealouk, Lahbib |
| Verschenen in: |
Measurement |
| Paginering: | Jaargang 170 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 23 van 50 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |