|
Process quality control for large-scale silicon sensor productions |
|
|
|
Titel: |
Process quality control for large-scale silicon sensor productions |
Auteur: |
Hinger, V. Bergauer, T. Blöch, D. Dragicevic, M. Grossmann, J. König, A. Pree, E. Valentan, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 924 (2019) nr. C pagina's 38-43 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|