|
A reflectometer for at-wavelength characterisation of gratings |
|
|
|
Titel: |
A reflectometer for at-wavelength characterisation of gratings |
Auteur: |
Eggenstein, F. Schäfers, F. Erko, A. Follath, R. Gaupp, A. Löchel, B. Senf, F. Zeschke, T. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 710 (2013) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|