|
Ultra-precision surface finishing by ion beam and plasma jet techniques—status and outlook |
|
|
|
Titel: |
Ultra-precision surface finishing by ion beam and plasma jet techniques—status and outlook |
Auteur: |
Arnold, T. Böhm, G. Fechner, R. Meister, J. Nickel, A. Frost, F. Hänsel, T. Schindler, A. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment |
Paginering: |
Jaargang 616 (2010) nr. 2-3 pagina's 10 p. |
Jaar: |
2010 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|