|
Analysis of defect structure in GaN epilayers doped with implanted Si+ by RBS/c method |
|
|
|
Titel: |
Analysis of defect structure in GaN epilayers doped with implanted Si+ by RBS/c method |
Auteur: |
Pągowska, K.D. Kozubal, M. Taube, A. Trajnerowicz, A. Kruszka, R. Gołaszewska-Malec, K. Dynowska, E. Jakieła, R. Barcz, A. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 450 () nr. C pagina's 248-251 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|