|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 62 van 75 gevonden artikelen
| Titel: |
Spectroscopy of highly charged ions for extreme ultraviolet lithography |
| Auteur: |
O'Sullivan, Gerry Dunne, Padraig Higashiguchi, Takeshi Kos, Domagoj Maguire, OisÃn Miyazaki, Takanori O'Reilly, Fergal Sheil, John Sokell, Emma Kilbane, Deirdre |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 408 (2017) nr. C pagina's 3-8 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 62 van 75 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |