|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 68 van 113 gevonden artikelen
| Titel: |
3–10keV Xe+ ion beam machining of ultra low thermal expansion glasses for EUVL projection optics: Evaluation of surface roughness |
| Auteur: |
Morikawa, K. Kamijo, K. Morijiri, K. Pahlovy, S.A. Aikawa, N. Miyamoto, I. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 272 (2012) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 68 van 113 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |