|
A new pixel sensor for uniformity control in ion implantation |
|
|
|
Titel: |
A new pixel sensor for uniformity control in ion implantation |
Auteur: |
Marchal, J. Al-Ajili, A. Scott, J. Doak, D. Abdalla, M. Gwilliam, R. Fröjdh, Ch. O’Shea, V. Smith, K. Rahman, M. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 206 (2003) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|