|
X-ray grazing incidence study of inhomogeneous strain relaxation in Si/SiGe wires |
|
|
|
Titel: |
X-ray grazing incidence study of inhomogeneous strain relaxation in Si/SiGe wires |
Auteur: |
Hesse, A. Zhuang, Y. Holý, V. Stangl, J. Zerlauth, S. Schäffler, F. Bauer, G. Darowski, N. Pietsch, U. |
Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
Paginering: |
Jaargang 200 (2003) nr. C pagina's 6 p. |
Jaar: |
2003 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Science B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|