|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 25 van 68 gevonden artikelen
| Titel: |
Investigation of BF2 + implants in silicon through SiO2 films Redistribution of fluorine and boron under rapid thermal annealing |
| Auteur: |
Kaabi, L. Gontrand, C. Lemiti, M. Remaki, B. Balland, B. Meddeb, J. Marty, O. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 120 (1996) nr. 1-4 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
1996 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 25 van 68 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |