|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 68 van 75 gevonden artikelen
| Titel: |
The damage recovery and electrical activation of shallow boron implants in silicon: The effects of high energy implants |
| Auteur: |
Kyllesbech Larsen, K. Privitera, V. Coffa, S. Priolo, F. Spinella, C. Saggio, M. Campisano, S.U. |
| Verschenen in: |
Nuclear instruments and methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms |
| Paginering: | Jaargang 112 (1996) nr. 1-4 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
1996 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 68 van 75 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |