|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 25 van 187 gevonden artikelen
| Titel: |
Characterization of reactive ion etching of benzocyclobutente in SF6/O2 plasmas |
| Auteur: |
Chen, Qianwen Wang, Zheyao Tan, Zhiming Liu, Litian |
| Verschenen in: |
Microelectronic engineering |
| Paginering: | Jaargang 87 (2010) nr. 10 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 25 van 187 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |