|
Properties and structure of silicon nitride films synthesized by ion-beam-enhanced deposition |
|
|
|
Titel: |
Properties and structure of silicon nitride films synthesized by ion-beam-enhanced deposition |
Auteur: |
Xianghuai, Liu Yuehui, Yu Zhihong, Zheng Wei, Huang Shichang, Zou Zuqing, Jin Ming, Chang Shoulian, Xu Taniguchi, S. Shibata, T. Nakamura, K. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 46 (1991) nr. 2 pagina's 6 p. |
Jaar: |
1991 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|