Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 35 van 122 gevonden artikelen
 
 
  Electrical and reliability characteristics of dielectric stack with low dielectric constant SiCOH and capping SiCNH films
 
 
Titel: Electrical and reliability characteristics of dielectric stack with low dielectric constant SiCOH and capping SiCNH films
Auteur: Cheng, Yi-Lung
Lee, Chih-Yen
Hung, Wei-Jie
Chen, Giin-Shan
Fang, Jan-Shiung
Verschenen in: Surface & coatings technology
Paginering: Jaargang 350 () nr. C pagina's 57-63
Jaar: 2018
Inhoud:
Uitgever: Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 35 van 122 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland