|
Glancing angle deposition of SiO2 thin films using a novel collimated magnetron sputtering technique |
|
|
|
Titel: |
Glancing angle deposition of SiO2 thin films using a novel collimated magnetron sputtering technique |
Auteur: |
Maidul Haque, S. Divakar Rao, K. Tripathi, S. De, Rajnarayan Shinde, D.D. Misal, J.S. Prathap, C. Kumar, Mohit Som, T. Deshpande, U. Sahoo, N.K. |
Verschenen in: |
Surface & coatings technology |
Paginering: |
Jaargang 319 (2017) nr. C pagina's 61-69 |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|